ルームとフィルタの差圧測定

さまざまなクラスのクリーンルーム間の圧力差は、清浄度の高いルームから低いルームまで5~20Paに保つ必要があります。クリーンルームを最小限の正圧にすることで、ドアを開いたときに低い清浄度のエリアの空気が高い清浄度のエリアに逆流することを防止できます。汚染が最小レベルのクリーンルームには、人および物用のエアロックを通じて入ります。エアロックでは、強いエアカーテンで粒子を舞い上がらせてからフィルタシステムを通じて排出します。人および物用のエアロック、清浄度クラスが異なるクリーンルーム、および周囲に対する圧力差を、DIN EN ISO 14644-3に従って試験する必要があります。フィルタにおける差圧の試験も実施する必要があります。

  • 差圧の測定には高精度の測定技術が必要
  • ルーム間とフィルタの差圧を測定

 

差圧の精密な測定

クリーンルームの差圧

クリーンルームを規格に準拠して運用するには、差圧の連鎖を確認するための差圧の精密な測定が必要になります。これには、高いレベルの精度を持つ差圧計が求められます。

  • DIN EN ISO 14644-3に準拠して、0~50Paの最小レベルの差圧を測定
  • クリーンルームの測定には、測定の不確かさが小さい差圧計が最適
  • 高精度の差圧センサによる精密な測定

フィルタにおける差圧

空調システムのフィルタ部分で差圧を高い信頼性で確認すると、汚染度について正確に判断でき、空調システムの機能を維持するうえで役立ちます。

  • 空調および換気システムのフィルタの正確な試験
  • 大型ディスプレイとユーザフレンドリなメニューガイドが採用された小型測定器
  • 高いレベルの精度を持つ差圧計