클린룸의 공기는 다단계 필터링과 높은 공기 흐름을 통해 순도가 보장됩니다. 클린룸의 환기 및 통풍 방식과 관련하여 두 가지 기본 클린룸 시스템이 있습니다. 난류 또는 저난류 흐름이 사용됩니다. 난류 희석 흐름이 있는 클린룸의 경우, 필터링된 깨끗한 공기가 난류 방식으로 클린룸에 유입되어 '혼합 공기'가 추출됩니다. 이를 통해 입자 농도를 지속적으로 희석할 수 있습니다. 더 높은 공기 교환율을 달성하려면 클린룸 등급 ISO 1 ~ ISO 5에 해당하는 층류 클린룸이 필요합니다. 이 경우 난류가 적은 연속 변위 흐름이 사용됩니다. 이러한 이유로 유속, 총 체적 유량 및 계산된 공기 교환율은 클린룸의 중요한 매개변수 중 하나입니다. DIN EN ISO 14644-3은 난류 및 저난류 흐름에서 측정을 수행할 수 있는 방법에 대한 규칙을 규정하고 있습니다.

• 클린룸의 유속 및 체적 유량을 측정하여 실내 공기질에 대한 지침 및 규정을 준수합니다.

• 총 체적 유량을 통해 난류 혼합 공기가 있는 플랜트에서 공기 교환율 결정

• DIN EN ISO 14644:2005 파트 3에 따른 측정 기술

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