클린룸 등급이 다른 룸 간에는 클린룸에서 덜 클린룸까지 5~20 Pa의 압력 차이가 보장되어야 합니다. 클린룸의 최소 양압은 문을 열었을 때 공기가 비청정 구역에서 청정 구역으로 역류하는 것을 방지합니다. 오염도가 가장 낮은 클린룸 자체도 인력과 자재를 위한 에어락을 통해 출입할 수 있으며, 이 에어락에서는 강한 기류가 입자를 휘저어 필터 시스템을 통해 입자를 추출합니다. DIN EN ISO 14644-3에 따르면, 클린룸의 인적 및 물적 에어록, 다른 순도 등급의 클린룸 및 주변 환경과의 압력 차이를 테스트해야 합니다. 필터의 차압 테스트도 수행해야 합니다.

• 차압 측정에는 매우 정밀한 측정 기술이 필요합니다.

• 실내 및 필터의 차압 측정

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