クリーンルームの空気の純度は、多段フィルタリングと大風量によって確保されます。 クリーンルームの通気と換気の方法に関しては、2つの基本的なクリーンルームシステムがある。 乱流または低乱流のいずれかを使用する。 乱流希釈フローを持つクリーンルームでは、ろ過された清浄空気が乱流でクリーンルームに導入され、「混合空気」が抽出される。 これにより、粒子濃度の連続的な希釈が可能になる。 より高い空気交換率を達成するために、クリーンルーム・クラスISO 1からISO 5では層流クリーンルームが必要とされる。 この場合、連続的で低乱の変位流が使用される。 このため、流速、総流量、空気交換率の算出は、クリーンルームの重要なパラメータのひとつです。 DIN EN ISO 14644-3は、乱流および低乱流での測定方法を規定しています。

• クリーンルーム内の流速と体積流量の測定による室内空気質に関するガイドラインと規定の遵守

• 乱流混合空気を使用するプラントにおける総体積流量による空気交換率の決定

• DIN EN ISO 14644:2005 Part 3に準拠した測定技術