确保微小压差
洁净室差压测量与控制
在不同洁净度等级的房间之间，必须确保从洁净度较高的房间到洁净度较低的房间之间的压力差在 5 到 20 Pa 之间。
洁净室的最小正压可确保在打开门时不会有空气从不洁区流回洁净区。人员和材料还可通过气闸进入污染级别最低的洁净室，强大的气流会搅动洁净室中的微粒，并通过过滤系统将其排出。
根据 DIN EN ISO 14644-3，必须测试洁净室与人员和材料气闸、其他纯度等级的洁净室以及周围环境之间的压差。过滤器上的压差也应进行测试。
压差测量需要高精度的测量技术
测量房间之间和过滤器处的压差
在洁净室进行测量
关于测试程序的重要标准
选择的洁净室资格认证测量
在选择测量设备时应注意什么？
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