클린룸의 공기 청정도는 다단계 필터링과 고유량 환기로 유지됩니다.
환기 방식에는 크게 두 가지가 있습니다:

• 난류 희석식: 필터를 거쳐 들어온 깨끗한 공기가 방 안으로 난류(소용돌이치듯 섞이는 흐름) 형태로 공급됩니다. 이 공기는 기존의 공기와 섞여 배출되며, 그 과정에서 공기 중 입자의 농도가 계속해서 희석·감소됩니다.

• 층류(저난류) 방식: ISO 1~5 등급과 같이 높은 청정도를 요구하는 클린룸에서는 공기가 위에서 아래로 일정하고 곧게 흐르는 층류 형태로 공급됩니다. 이렇게 하면 공기가 고르게 순환하면서 오염된 입자를 빠르게 아래쪽으로 밀어내고 배출할 수 있어, 높은 환기율과 청정도를 안정적으로 유지할 수 있습니다.

따라서 유속, 총 유량, 환기율은 클린룸 관리에서 가장 중요한 파라미터입니다. DIN EN ISO 14644-3에서는 난류·층류 환경 모두에 대한 측정 기준을 명확히 제시하고 있습니다.

• 유속 및 유량 측정을 통한 실내 공기질 규정 준수 확인

• 난류 혼합 환기식 설비의 환기율 평가 (총 유량 기준)

• DIN EN ISO 14644-3 규격에 따른 계측 기술 적용