Die Reinheit der Luft in Reinräumen wird mit einer mehrstufigen Filterung und hohem Luftdurchsatz sichergestellt. Was die Art und Weise der Be- und Entlüftung von Reinräumen betrifft, kann man zwei grundlegende Reinraumsysteme unterscheiden. Es wird entweder die turbulente oder die turbulenzarme Strömung genutzt. Bei Reinräumen mit turbulenter Verdünnungströmung wird die gefilterte Reinluft verwirbelt in den Reinraum eingeführt und die „Mischluft“ abgeführt. Hierdurch wird eine stetige Verdünnung der Partikelkonzentration erzielt. Um einen höheren Luftaustausch zu erreichen, wird in den Reinraumklassen ISO 1 bis ISO 5 ein Laminarströmungs-Reinraum benötigt. Hier wird eine kontinuierliche, turbulenzarme Verdrängungsströmung genutzt. Daher gehören Strömungsgeschwindigkeit, Gesamtvolumenstrom und die daraus berechnete Luftwechselrate zu den entscheidenden Parametern Ihres Reinraums. DIN EN ISO 14644-3 macht dazu sowohl in turbulenten als auch in turbulenzarmen Strömungen Vorgaben wie gemessen werden kann.

• Einhaltung der Richtlinien und Vorgaben zur Raumluftqualität durch Messung der Strömungsgeschwindigkeit und des Luftvolumenstroms in Reinräumen

• Bestimmung der Luftwechselzahl bei einer Anlage mit turbulenter Mischströmung durch die Gesamtvolumenstromrate

• Messtechnik gemäß der Anforderungen von DIN EN ISO 14644:2005 Teil 3