차압 압력계
실내 및 필터 차압 측정
클린룸 간 등급이 다른 공간 사이에는 5~20 Pa의 차압이 반드시 유지되어야 합니다.
이는 청정도가 낮은 공간의 공기가 문이 열릴 때 더 깨끗한 공간으로 역류하지 않도록 보장합니다.
가장 높은 청정도를 요구하는 클린룸은 인원·자재 에어락을 통해서만 출입할 수 있으며, 이때 강한 기류가 발생해 입자를 흩뜨리고 필터 시스템으로 제거합니다. DIN EN ISO 14644-3 규격에 따르면, 클린룸과 에어락, 다른 청정등급 공간, 외부 환경 사이의 차압을 반드시 점검해야 하며, 필터 차압 측정도 포함됩니다.
차압 측정에는 고정밀 계측 기술이 필수
실간 차압 및 필터 차압 모두 정확하게 확인 가능
차압, 정밀하게 측정하다
클린룸 관리의
필수 측정
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