最小の圧力差を確保する
部屋とフィルターの差圧測定
異なるクリーンルーム・クラスの部屋間では、より清浄な部屋からより清浄でない部屋まで、5～20 Paの圧力差を確保しなければならない。 クリーンルームの陽圧は最小限のため、ドアを開けても空気が不清浄エリアから清浄エリアに逆流することはない。 汚染レベルが最も低いクリーンルーム自体も、人員と資材のためのエアロックを介してアクセスされ、強い気流が存在する粒子をかき混ぜ、フィルターシステムを介してそれらを抽出する。 DIN EN ISO 14644-3によると、クリーンルームの圧力差は、人員用エアロックと材料用エアロック、他の純度クラスのクリーンルーム、および周囲との圧力差をテストする必要があります。 フィルターの差圧テストも実施すべきである。
差圧の測定には高精度の測定技術が必要
部屋とフィルターの差圧測定
差圧の精密測定
差圧
クリーンルームの差圧
差圧カスケードをチェックするための差圧の正確な測定は、クリーンルームの規範に準拠した動作を保証するため、差圧測定器には高い精度が要求されます。
DIN EN ISO 14644-3に準拠した最小差圧0～50 Paの測定
低測定不確かさの差圧測定器は、クリーンルームでの測定に最適です。
高精度の差圧センサーによる正確な測定
フィルターでの差圧
フィルターでの差圧
空調システムのフィルターにおける差圧を確実に測定することで、汚れの程度について正確な結論を導き出すことができ、空調システムの継続的な機能維持に役立ちます。
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