DIN EN ISO 14644-3によると、クリーンルームの換気システムが、空気温度と空気湿度(相対湿度として与えられる)をアプリケーションに必要な限界値内に維持する能力をテストしなければならない。 周囲の温度と湿度は、材料の膨張や硬化、微生物の繁殖、分解、腐食、錆の発生などのプロセスに影響を与え、クリーンルームで製造された製品にダメージを与えます。 このため、クリーンルーム内の温度と相対湿度を正確に測定することは非常に重要である。 さらに、光の強さ、音のレベル、快適性も部屋のあらゆる場所で測定する必要がある。
高精度のプローブで規制に準拠した空気温度と空気湿度を保証
さらにクリーンルーム内の光強度と騒音レベルを簡単かつ確実に測定